光刻機上市龍頭公司有：

　　芯源微（688037）：作為與光刻機配合進行作業(yè)的關鍵處理設備，公司生產(chǎn)的涂膠/顯影機成功打破國外廠商壟斷并填補國內(nèi)空白，其中在LED芯片制造及集成電路制造后道先進封裝等環(huán)節(jié)，作為國內(nèi)廠商主流機型已成功實現(xiàn)進口替代；通過多年的技術(shù)研發(fā)、實踐應用積累以及持續(xù)承擔國家02重大專項，公司成功突破了應用于集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)的涂膠顯影設備技術(shù)，成型產(chǎn)品目前正在長江存儲、上海華力等前道芯片制造廠商進行工藝驗證。

　　清溢光電（688138）：

　　華特氣體（688268）：公司研發(fā)出的20種進口替代產(chǎn)品已實現(xiàn)規(guī)�；�生產(chǎn)。特氣體也通過了全球最大光刻機供應商ASML公司的產(chǎn)品認證，并為中芯國際、華虹宏力等一線企業(yè)供貨。

　　光刻機概念股其他的還有： 強力新材、南大光電、英唐智控、晶瑞電材、同益股份、新萊應材、勝利精密、雅克科技、中芯國際、賽微電子等。

　　數(shù)據(jù)僅供參考，不構(gòu)成投資建議，據(jù)此操作，風險自擔，股市有風險，投資需謹慎。