光刻機板塊上市公司龍頭有：

　　1、華特氣體：光刻機龍頭股。

　　2021年第一季度公司實現(xiàn)營業(yè)總收入2.93億元，同比增長55.11%；實現(xiàn)扣非凈利潤2406萬元，同比增長47.64%；華特氣體毛利潤為6689萬，毛利率23.31%。

　　作為與光刻機配合進行作業(yè)的關(guān)鍵處理設(shè)備，公司生產(chǎn)的涂膠/顯影機成功打破國外廠商壟斷并填補國內(nèi)空白，其中在LED芯片制造及集成電路制造后道先進封裝等環(huán)節(jié)，作為國內(nèi)廠商主流機型已成功實現(xiàn)進口替代；通過多年的技術(shù)研發(fā)、實踐應(yīng)用積累以及持續(xù)承擔(dān)國家02重大專項，公司成功突破了應(yīng)用于集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)的涂膠顯影設(shè)備技術(shù)，成型產(chǎn)品目前正在長江存儲、上海華力等前道芯片制造廠商進行工藝驗證。

　　2、芯源微：光刻機龍頭股。

　　2021年第一季度公司實現(xiàn)營業(yè)總收入1.13億元，同比增長1229.72%；實現(xiàn)扣非凈利潤461萬元，毛利率35.89%。

　　特種氣體龍頭企業(yè)。

　　3、雅克科技：光刻機龍頭股。

　　2021年第一季度公司實現(xiàn)營業(yè)總收入8.88億元，同比增長102.36%；實現(xiàn)扣非凈利潤1.06億元，同比增長44.53%；雅克科技毛利潤為2.414億。

　　光刻膠龍頭企業(yè)。

　　光刻機概念股其他的還有： 上海新陽、英唐智控、北方華創(chuàng)、滬硅產(chǎn)業(yè)、捷捷微電、晶瑞股份、飛凱材料、晶方科技、容大感光、江化微、清溢光電、中環(huán)股份、廣信材料、強力新材、藍英裝備、高盟新材、同益股份、怡達股份等。

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