電子特種氣體概念股有：

　　雅克科技：從近三年總資產收益率來看，近三年總資產收益率均值為6.07%，過去三年總資產收益率最低為2018年的4.33%，最高為2020年的7.52%。

　　子公司成都科美特特種氣體有限公司，主營電子特種氣體（六氟化硫、四氟甲烷等）。

　　南大光電：從近三年總資產收益率來看，近三年總資產收益率均值為3.91%，過去三年總資產收益率最低為2019年的3.35%，最高為2020年的4.45%。

　　國內磷烷、砷烷龍頭，擬收購飛源氣體布局 NF3、SF6 公司主營 MO 源和電子特氣業(yè)務，2019 半年報特氣業(yè)務營收占比 33%，毛利占比 44%，毛利率 61%，為公 司毛利率最高的業(yè)務板塊。2019 半年報公司實現(xiàn)營收 1.39 億元，同比增長 10%；實現(xiàn)歸母凈利 0.26 億元，同 比下滑 9%。

　　巨化股份：從近三年總資產收益率來看，近三年總資產收益率均值為7.37%，過去三年總資產收益率最低為2020年的0.66%，最高為2018年的15.47%。

　　通過全資子公司凱圣公司布局濕電子化學品，通過全資子公司博瑞電子進入電子特氣領域。

　　昊華科技：從近三年總資產收益率來看，近三年總資產收益率均值為8.25%，過去三年總資產收益率最低為2019年的6.31%，最高為2018年的11.46%。

　　國內高純六氟化硫龍頭 公司此前為天一科技，主營變壓吸附氣體分離技術及成套裝置、催化劑產品、碳一化學及工程設計。2018 年底中國昊華將旗下 11 家化工研究院注入上市公司體內，并更名昊華科技。2018 全年及 2019 上半年，公司分 別實現(xiàn)營收 41.8、22.8 億元，同比分別增長 15%、18%；分別實現(xiàn)歸母凈利 5.25、2.57 億元，同比分別增長 61%、 6%。高純 SF6 產品取代 NF3 用于 CVD 清洗工藝可有效降低成本，公司產品2006 年就已達到5N級并逐步通過客戶認證，當前已經達到 5N5 級，為國內高純六氟化硫龍頭。

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