據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機題材龍頭有：

　　海立股份（600619）：龍頭股，7月9日該股主力資金凈流出308.48萬元，超大單資金凈流入30.1萬元，大單資金凈流出338.58萬元，中單資金凈流入128.32萬元，散戶資金凈流入180.16萬元。

　　為上海微電子的相關設備提供冷卻配套系統(tǒng)，已實現(xiàn)供貨。

　　2023年，公司實現(xiàn)凈利潤3051.29萬，同比增長-13.94%，近三年復合增長為-69.26%；每股收益0.03元。

　　同飛股份（300990）：龍頭股，7月31日資金凈流出176.34萬元，超大單凈流出101.89萬元，換手率3.93%，成交金額1.17億元。

　　液體恒溫設備。

　　2023年，公司實現(xiàn)凈利潤1.82億，同比增長率為42.69%，近4年復合增長13.5％。

　　茂萊光學（688502）：龍頭股，7月18日消息，茂萊光學資金凈流入54.27萬元，超大單凈流入99.08萬元，換手率19.4%，成交金額7.71億元。

　　DUV光學透鏡應用于國產光刻機，供貨給KLA的半導體檢測設備。

　　2023年報顯示，茂萊光學凈利潤4672.38萬，毛利率51.89%，每股收益0.94元。

　　福晶科技（002222）：龍頭股，11月19日消息，福晶科技主力資金凈流入2881.67萬元，超大單資金凈流入2890.9萬元，散戶資金凈流出2677.19萬元。

　　2023年報顯示，福晶科技實現(xiàn)凈利潤2.09億，同比增長-7.65%，近四年復合增長為13.32%；每股收益0.49元。

　　藍英裝備（300293）：龍頭股，11月19日消息，藍英裝備主力凈流入1342.84萬元，超大單凈流入1681.77萬元，散戶凈流出537.54萬元。

　　2023年，藍英裝備公司實現(xiàn)凈利潤-2098.11萬，同比增長61.5%，近三年復合增長為-44.89%；每股收益-0.06元。

　　張江高科（600895）：龍頭股，7月5日消息，張江高科主力凈流出2156.7萬元，超大單凈流出2447.83萬元，散戶凈流入2957.92萬元。

　　2023年公司凈利潤9.48億，同比上年增長率為15.29%。

　　冠石科技（605588）：龍頭股，10月16日消息，冠石科技資金凈流出1231.72萬元，超大單凈流出215.19萬元，換手率1.44%，成交金額4012.43萬元。

　　2023年，冠石科技公司凈利潤5221.6萬，近五年復合增長為-13.27%；毛利率15.84%，每股收益0.71元。

　　蘇大維格（300331）：龍頭股，11月19日消息，蘇大維格主力資金凈流入654.03萬元，超大單資金凈流出414.37萬元，散戶資金凈流出229.2萬元。

　　2023年，公司實現(xiàn)凈利潤-4568.79萬，同比增長率為83.63%。

　　國產光刻機板塊股票其他的還有：

　　南大光電300346：近7個交易日，南大光電上漲1.69%，最高價為35.97元，總市值上漲了3.57億元，2025年來下跌-5.44%。

　　賽微電子300456：近7個交易日，賽微電子下跌1.56%，最高價為16.16元，總市值下跌了1.83億元，2025年來下跌-7.51%。

　　彤程新材603650：近7個交易日，彤程新材上漲2.61%，最高價為31.65元，總市值上漲了5.09億元，2025年來下跌-7.2%。

　　數據僅參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔。