光刻機龍頭股上市公司：

　　芯源微（688037）：龍頭。公司2020年的凈利潤4883萬元，同比增長66.79%。

　　作為與光刻機配合進行作業(yè)的關鍵處理設備，公司生產的涂膠/顯影機成功打破國外廠商壟斷并填補國內空白，其中在LED芯片制造及集成電路制造后道先進封裝等環(huán)節(jié)，作為國內廠商主流機型已成功實現(xiàn)進口替代；通過多年的技術研發(fā)、實踐應用積累以及持續(xù)承擔國家02重大專項，公司成功突破了應用于集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)的涂膠顯影設備技術，成型產品目前正在長江存儲、上海華力等前道芯片制造廠商進行工藝驗證。

　　清溢光電（688138）：龍頭。2020年凈利潤7629萬，同比增長8.55%。

　　華特氣體（688268）：龍頭。2020年凈利潤1.07億，同比增長46.67%。

　　公司研發(fā)出的20種進口替代產品已實現(xiàn)規(guī)模化生產。特氣體也通過了全球最大光刻機供應商ASML公司的產品認證，并為中芯國際、華虹宏力等一線企業(yè)供貨。

　　光刻機概念其他的還有： 金龍機電、南大光電、新萊應材、容大感光、奧普光電、上海新陽、福晶科技、晶瑞電材、廣信材料、賽微電子、藍英裝備、江化微、同益股份、ST澄星、勝利精密、飛凱材料、晶方科技、永太科技、強力新材等。

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